ILS-150 ガラス基板カセット位置決めユニットIGUCHI Japan

ILS-150 ガラス基板カセット位置決めユニットIGUCHI 日本製ILSSeries 位置決めステージは、上板が360度どの方向にもスムーズに回転します。コンパクトでありながら、従来型よりも重い荷重を受けることができ、基板カセットを任意の位置にセットすることができます。

• IGUCHI
• 移動距離√15mm
• ケース : アルミ+アルマイト
• 固定フランジ：アルミ+アルマイト
• 移動ステージ：SUS304
• 耐荷重：150kgf
• 数量：1本